Hagas första kände ägare var Sten Bengtsson (Bielke), död 1408, som lät uppföra ett stenhus med namnet Marieborg på en holme vid Enköpingsåns utflöde i Mälaren.
Haga tillföll senare kung Karl Knutsson (Bonde). Godset gick sedan i arv bland deras efterkommande till 1836 och ägdes under denna tid av släkterna Tre Rosor, Stenbock, Natt och Dag, Mörner, Falkenberg och Posse.

Fram till 1660-talet var Haga en robust medeltidsborg. Dåvarande ägaren Gustaf Persson Natt och Dag lät sig övertalas av byggmästaren Nicodemus Tessin den äldre att uppföra ett modernt slott på delar av den gamla borgens grund. Dagens Haga Slott stod färdigt år 1670 och är ett verk i italiensk senrenässans.

Med ett kort avbrott var Haga Slott privatbostad fram till 1924 när hotell- och restauranganställdas förbund köpte slottet och gjore det till sommarhem för medlemmar. På 1940-talet inrättades ett mentalsjukhus på slottet. Efter vårdhemmets avveckling 1962 stod slottet öde fram till 1984 då Diös AB köpte Haga Slott och inledde en omfattande restaurering.

I maj 1990 slog Haga Slott upp portarna som en modern konferensanläggning i kulturhistorisk miljö.